真空ポンプ情報

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真空ポンプは別名バキュームポンプとも呼ばれていて、容器の中から期待を吐き出して、真空を作るものです。かといって一台でつかうことはまれであり、だいたいあら引きポンプやメインポンプなどと使うことが多くなります。この理由はったった一台で超高真空から大気圧までをカバーすることは非常に困難なためである。

用途

用途によっては一台ですむが、このときはあら引きやメインなどを呼び分けることはしません。原理はこんな感じです。真空ポンプで有名なところはオリオン、アルバック、エバラ、島津、リーチェリー、エドワーズ、芝浦などです。価格は小型、大型、機能によって千差万別ですね。修理などを行っているところもあるとか。使用の際に用途によって使う真空ポンプは異なってきます。なぜならどれだけ高真空が必要で、排出する気体の成分は何かにもよるからです。

種類・分類

種類はかなりあります。大きく分けると２種類でウエットポンプとドライポンプです。この違いは構造にオイルを用いるか用いないかによって分けられています。今大きく普及しているのが、ウエットポンプでは、排気量、到達圧力や価格などのすべてのところから優れた機能を持つオイル回転型のロータリーポンプです。これは大気から作動させられるために超高真空がほしいときの初期の粗引き、背圧を維持するための補助ポンプとして使われるのが主です。でも、広く産業用にも使われることがあります。大体は電気のモーターを動力源としており、到達真空度は約10-1 Pa 。この中でもっとも安いのが手押し式のタイプで、エアコンなどの冷媒注入用として発売されています。

ドライポンプのダイヤフラムポンプ

油を避けるような用途では、ドライポンプのダイヤフラムポンプである。これは比較的安いところと吸着装置やアスピレータなどの低真空むけなところが特徴。ソリューションポンプは機械的動作がなく、油蒸気などはよく除去することができるが、物理吸着を利用しているため、水分分子や、ヘリウムなどはほとんど除去できない。そのため期待したほどの真空は得られない。他の分類法として、気体溜め込み式、容積移送式や運動量輸送式、分け方もあります。